因此,研發(fā)一款兼具高分辨率、低畸變、勻光效果優(yōu)異的投影物鏡,對(duì)推動(dòng)微米級(jí)芯片制造技術(shù)升級(jí)具有重要現(xiàn)實(shí)意義。核心設(shè)計(jì)理論與技術(shù)指標(biāo)1)系統(tǒng)工作原理為解決基板離焦導(dǎo)致的倍率誤差問題,該投影物鏡采用雙遠(yuǎn)心光路結(jié)構(gòu),整體類似4F成像系統(tǒng)。前組透鏡的后焦面與后組透鏡的前焦面重合,視場(chǎng)光闌位于該重合平面,分別將前組、后組透鏡成像于物方、像方無窮遠(yuǎn)。
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摩爾芯創(chuàng) ??? 4月前